一种具有硅碳氮无氧涂层的碳碳坩埚及其制备方法2025

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117049896 A (43)申请公布日 2023.11.14 (21)申请号 202311139558.3 (22)申请日 2023.09.05 (71)申请人 上海康碳复合材料科技有限公司 地址 201800 上海市嘉定区沪宜公路3099 号609室 申请人 上海康碳创达新材料科技有限公司 (72)发明人 蒋婕　贾林涛　孙祝林　池泽敏　 (74)专利代理机构 北京高沃律师事务所 11569 专利代理师 何路扬 (51)Int.Cl. C04B 41/89 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 (54)发明名称 一种具有硅碳氮无氧涂层的碳碳坩埚及其 制备方法 (57)摘要 本发明属于材料技术领域，具体涉及一种具 有硅碳氮无氧涂层的碳碳坩埚及其制备方法。本 发明通过对碳碳坩埚基体进行聚硅氮烷溶液浸 渍处理，经真空热处理在碳碳坩埚表面形成氮化 硅涂层，然后采用超声速喷涂对碳碳坩埚的内表 面喷涂硅粉，形成硅涂层，最后氮化硅涂层和硅 涂层通过热处理反应，在坩埚内表面原位反应生 成硅碳氮无氧涂层，其层间结合力更为牢固，能 对碳碳坩埚进行有效封孔，使其表面更为致密， 防止硅液渗透，阻止硅蒸汽与碳碳坩埚发生化学 反应，有效防止碳碳坩埚被腐蚀破坏，起到保护 A 碳碳坩埚的作用，可有效提高碳碳坩埚的高温力 6 学性能和抗硅化腐蚀性能，延长碳碳坩埚的使用 9 8 9 寿命。 4 0 7 1 1 N C CN 11704