发明

一种半导体行业高纯化学不稳定电子特气用铁素体不锈钢及其制备方法

2023-05-16 09:06:30 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202211637055.4
  • 公开(公告)日:2024-08-02
  • 公开(公告)号:CN116024504A
  • 申请人:坤石容器制造有限公司
摘要:本发明涉及一种半导体行业高纯化学不稳定电子特气用铁素体不锈钢及其制备方法,属于材料技术领域。以重量百分比计,该铁素体不锈钢的化学成分为:Cr:20.0~30.0%,Mo:1.0~4.5%,Ni:0.5~3.0%,Ti:0.1~0.6%,Se:0%~0.01%,Si<0.3%,Mn<0.1%,C<0.01%,Al<0.01%,P<0.01%,S<0.002%,N<0.005%,O<0.005%,余量为铁。该铁素体不锈钢的制备方法为:配料→纯净化冶炼→浇注成型→锻造和热轧→时效热处理。本发明通过化学成分设计、稀土纯净化冶炼和纳米析出相调控等策略,获得了具有高纯净度、高强韧性搭配、优异的耐腐蚀性能和优异焊接性能的铁素体不锈钢,针对不稳定高纯气体具有非催化特性和焊接无尘特性,可广泛应用于半导体等行业所需高纯化学不稳定电子特气所用压力容器和管道。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116024504 A (43)申请公布日 2023.04.28 (21)申请号 202211637055.4 C22C 38/04 (2006.01) C22C 38/06 (2006.01) (22)申请日 2022.12.16 C22C 33/04 (2006.01) (71)申请人 坤石容器制造有限公司 C21D 8/00 (2006.01) 地址 441300 湖北省随州市随县经济开发 C21D 1/18 (2006.01) 区友谊二路333号 (72)发明人 傅威 徐昕 石全强 吕佑龙  杨勇  (74)专利代理机构 沈阳优普达知识产权代理事 务所(特殊普通合伙) 21234 专利代理师 张志伟 (51)Int.Cl. C22C 38/44 (2006.01) C22C 38/50 (2006.01) C22C 38/60 (2006.01) C22C 38/02 (2006.01)

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