一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117626201 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202311644806.X (22)申请日 2023.12.01 (71)申请人 科廷表面科技（浙江）有限公司 地址 314299 浙江省嘉兴市平湖市钟埭街 道段墅路158号1楼西侧 (72)发明人 雷霈　张久爱　俞国军　王雷　 (74)专利代理机构 嘉兴尚正专利代理事务所 (普通合伙) 33467 专利代理师 王寒阳 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图9页 (54)发明名称 一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置 (57)摘要 本发明属于等离子涂层技术领域，具体的说 是一种DLC溅射等离子涂层工艺及涂层装置，包 括真空室，所述真空室顶端安装有固定架，所述 固定架的底端固接有喷射组件，所述喷射组件包 括喷射源、靶材，所述真空室的内部且位于喷射 组件的下方转动连接有转动架，所述转动架通过 外部伺服电机驱动，所述转动架的外部均匀开设 有多个安装槽，所述安装槽外部设置有弹性限位 框架，所述转动架的内部插接有连接架，所述连 接架的内部固接有多个偏压电极，多个所述偏压 电极与安装槽一一对应；通过供电组件的设计， 使得转动架内部的其