一种平行光源非接触的单面自动光刻机

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112198769 A (43)申请公布日 2021.01.08 (21)申请号 202011161183.7 (22)申请日 2020.10.27 (71)申请人 广东莱宝智能装备股份有限公司 地址 523000 广东省东莞市东城区牛山上 山门水坑尾1号 (72)发明人 龚志平　 (74)专利代理机构 东莞市神州众达专利商标事 务所(普通合伙) 44251 代理人 刘汉民 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图6页 (54)发明名称 一种平行光源非接触的单面自动光刻机 (57)摘要 本发明公开了一种平行光源非接触的单面 自动光刻机，包括外罩、进出料组件、中间对位机 构和相机模组，所述中间对位机构两侧均连接有 进出料组件，中间对位机构设置在焊接支撑平台 上，焊接支撑平台设置在外罩内部。本平行光源 非接触的单面自动光刻机，采用LED平行光源，机 械手搬运组件，斜式升降台，全图像定位系统有 效实现全自动连线光刻作业，将产品送入一个无 尘的机器中，从托轮组件传送到中间对位机构， 产品由机械手搬运组件和斜式升降台将产品送 到光刻平台加工，加工完，再由机械手搬运组件 将产品送下来输送出来，本装置可以将产品精密 A 度达到300微米，相对于传统加工产品来说，更加 9 环保，精密。 6 7 8 9 1 2 1 1 N C CN 112198769