一种单晶硅放肩方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117684254 A (43)申请公布日 2024.03.12 (21)申请号 202211083122.2 (22)申请日 2022.09.05 (71)申请人 隆基绿能科技股份有限公司 地址 710100 陕西省西安市长安区航天中 路388号 (72)发明人 武刚　成路　杜婷婷　王正远　 丁彪　马少林　 (74)专利代理机构 北京润泽恒知识产权代理有 限公司 11319 专利代理师 葛珊杉 (51)Int.Cl. C30B 15/20 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书9页 附图2页 (54)发明名称 一种单晶硅放肩方法 (57)摘要 本发明提供了一种单晶硅放肩方法，根据目 标晶棒直径获取放肩长度，在晶棒的放肩长度处 于目标范围的第一区间时，设定单晶炉内热场的 降温速率为第一速率范围，同时设置晶棒的提拉 速度为第一速度范围；在晶棒的放肩长度处于目 标范围的第二区间时，将降温速率由第一速率范 围提升至第二速率范围，同时提拉速度由第一速 度范围提升至第二速度范围；在放肩长度处于目 标范围的第三区间时，将降温速率由第二速率范 围提升至第三速率范围，同时将提拉速度由第二 速度范围提升至第三速度范围，通过上述方法放 肩，使得放肩时，肩部顶角可以保持在45°‑70°， A 减小了放肩过程中{111}小面出现的概率，进一 4 步降低发生位错的概