高通量成分梯度反铁电基薄膜材料及其制备方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115747726 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211486004.6 C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) (22)申请日 2022.11.24 (71)申请人 中国科学院深圳先进技术研究院 地址 518055 广东省深圳市南山区西丽深 圳大学城学苑大道1068号 (72)发明人 钟高阔　曾令平　陈骞鑫　邹娟　 任传来　 (74)专利代理机构 深圳市世纪恒程知识产权代 理事务所 44287 专利代理师 胥巧莉 (51)Int.Cl. C23C 14/28 (2006.01) H01G 4/12 (2006.01) C23C 14/04 (2006.01) C23C 14/08 (2006.01) 权利要求书2页 说明书11页 附图3页 (54)发明名称 高通量成分梯度反铁电基薄膜材料及其制 备方法 (57)摘要 本申请公开了一种高通量成分梯度反铁电 基薄膜材料及其制备方法，所述高通量成分梯度 反铁电基薄膜材料的制备方法包括以下步骤：获 取衬底；在所述衬底上沉积形成底电极层；通过 移动掩膜版，在所述底电极层上沉积不同比例的 锆酸铅和掺杂组分，得到高通量成分梯度反