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发明

一种含氟清洗液组合物及其应用2024

2024-03-05 07:10:13 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210951419.X
  • 公开（公告）日：2024-03-01
  • 公开（公告）号：CN117625315A
  • 申请人：上海新阳半导体材料股份有限公司
摘要：本发明公开了一种含氟清洗液组合物及其应用。该含氟清洗液组合物包括下述质量分数的组分：10‑30％氧化剂、0.001‑0.01％氧化型谷胱甘肽、0.001‑0.25％半胱氨酸、氟化物、有机碱、螯合剂、缓蚀剂、羧酸铵、0.01‑1％EO‑PO聚合物L31、0.01‑2％1‑(苯并三氮唑‑1‑甲基)‑1‑(2‑甲基苯并咪唑)和水，水补足余量。本发明的含氟清洗液组合物可以高度选择性地移除TiN、TaN、TiNxOy、Ti硬遮罩和包含上述物质的合金的硬遮罩，且对具有等离子刻蚀后残余物和灰化后残余物清洗效果佳。本发明的选择性移除硬遮罩的清洗液对多种金属及电介质缓蚀性强，清洗效果佳。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117625315 A (43)申请公布日 2024.03.01 (21)申请号 202210951419.X C11D 3/34 (2006.01) C11D 3/39 (2006.01) (22)申请日 2022.08.09 C11D 3/60 (2006.01) (71)申请人 上海新阳半导体材料股份有限公司 H01L 21/02 (2006.01) 地址 201616 上海市松江区思贤路3600号 (72)发明人 王溯　蒋闯　冯强强　刘超勇　 (74)专利代理机构 上海弼兴律师事务所 31283 专利代理师 马续红 (51)Int.Cl. C11D 1/722 (2006.01) C11D 3/04 (2006.01) C11D 3/20 (2006.01) C11D 3/28 (2006.01) C11D 3/30 (2006.01) C11D 3/32 (2006.01) C11D 3/33 (2006.01) 权利要求书5页 说明书16页 (54)发明名称 一种含氟清洗液组合物及其应用 (57)摘要

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