一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性的方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115747735 A (43)申请公布日 2023.03.07 (21)申请号 202211139409.2 (22)申请日 2022.09.19 (71)申请人 北京晨晶电子有限公司 地址 100020 北京市朝阳区酒仙桥路2号 (72)发明人 王天宇　裴志强　郄立伟　赵黎明　 王颖　尚帅　谷华锋　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 朱惠惠 (51)Int.Cl. C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) G01L 1/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种改善石英晶圆双面膜层致密度一致性 的方法 (57)摘要 本发明涉及石英材料，具体涉及一种改善石 英晶圆双面膜层致密度一致性的方法。所述方法 包括在温度T1下对石英晶圆进行第一次预热，时 长t1；进行除气，设定温度T2，时长t2；在所述石 英晶圆的一面进行沉积；将完成第一次沉积的石 英晶圆取出，在温度T3下对其进行第二次预热， 时长t3；进行除气，设定温度T4，时长t4；在所述 石英晶圆的另一面进行沉积。本发明通过在两面 成膜前额外进行两次温度不同的预热，精确控制 基材温度进而改善双面膜层致密度一致性。 A 5 3 7 7 4 7 5 1 1 N C CN 115747735 A