一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113430503 A (43)申请公布日 2021.09.24 (21)申请号 202110801121.6 (22)申请日 2021.07.15 (71)申请人 大连连城数控机器股份有限公司 地址 116000 辽宁省大连市甘井子区营城 子镇工业园区营日路40号-1、40号-2、 40号-3 (72)发明人 黎志欣　胡动力　 (74)专利代理机构 大连东方专利代理有限责任 公司 21212 代理人 李洪福 (51)Int.Cl. C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图6页 (54)发明名称 一种可镀多种膜的管式PECVD石墨舟结构 (57)摘要 本发明提供一种可镀多种膜的管式PECVD石 墨舟结构，包括多个依次叠放的舟片；所述舟片 设有多个镂空区域，所述镂空区域用于安装硅 片，且所述镂空区域周围设有至少一个卡住所述 硅片的勾点；所述镂空区域安装硅片后，相临两 个舟片之间形成独立的且密闭的镀膜通道，所述 镀膜通道的延伸方向平行于所述舟片的长度方 向，所述舟片在其长度方向的两端分别加工有与 所述镀膜通道连通的进气孔和出气孔；所述镀膜 通道内通入镀膜气体或惰性气体。本发明单个设 备上可以镀多种膜，节省了倒片时间，同时减少 倒片过程的划伤，提升了良率。同时避