一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方法

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113550008 A (43)申请公布日 2021.10.26 (21)申请号 202110792971.4 (22)申请日 2021.07.14 (71)申请人 济南大学 地址 250000 山东省济南市市中区南辛庄 西路336号 (72)发明人 孙德辉　王蒙　韩文斌　刘宏　 (74)专利代理机构 济南誉丰专利代理事务所 (普通合伙企业) 37240 代理人 薛鹏喜 (51)Int.Cl. C30B 29/30 (2006.01) C30B 15/00 (2006.01) C30B 15/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种超大尺寸铌酸锂晶体的生长装置和方 法 (57)摘要 本发明公开了一种超大尺寸铌酸锂晶体的 生长装置和方法，包括铂金坩埚和位于生长装置 内的可以旋转升降的籽晶杆；所述铂金坩埚外包 覆保温层；所述保温层上缠绕加热线圈；所述籽 晶杆穿过保温层并深入铂金坩埚中；所述铂金坩 埚的上方设有上窄下宽的水冷罩，所述水冷罩的 内部中空；所述水冷罩底端的宽度大于或等于铌 酸锂晶体的直径；所述籽晶杆贯穿水冷罩的正中 央；所述水冷罩上分别设有进水管和出水管，所 述进水管和出水管分别贯穿保温层与外部连通； 所述水冷罩上设有控制水冷罩上下移动的升降 A 杆，所述升降杆贯穿保温层。本发明能够解决溶 8 体对流缓慢，晶体生长界面处温度梯度小等