一种柱状靶材水冷旋转单元

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114717523 A (43)申请公布日 2022.07.08 (21)申请号 202210214204.X (22)申请日 2022.03.03 (71)申请人 四川艾庞机械科技有限公司 地址 629000 四川省遂宁市高新区云锦路8 号 (72)发明人 周磊　窦沛静　丁媛　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 陈慧华 (51)Int.Cl. C23C 14/34 (2006.01) F25D 1/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图5页 (54)发明名称 一种柱状靶材水冷旋转单元 (57)摘要 本发明公开了一种柱状靶材水冷旋转单元， 涉及靶材冷却设备技术领域，能够在为柱状靶材 提供旋转驱动以及供电的同时，还能够保证冷却 效果。一种柱状靶材水冷旋转单元包括壳体、水 冷单元、旋转驱动单元以及通电单元。水冷单元 可转动地设置在壳体中。靶材设置在水冷单元端 部。旋转驱动单元设置在水冷单元上。旋转驱动 单元用于驱动水冷单元转动进而带动靶材转动。 通电单元设置在壳体上并与水冷单元电连接。水 冷单元在旋转驱动单元的驱动下，可以带动靶材 旋转的同时冷却靶材。通电单元可以在接通水冷 单元，为靶材通电。同时通过冷却单元与靶材的 A 充分接触，使得靶材的散热面积增加，加强散热 3 效果。 2 5 7 1 7 4 1 1 N C CN 1147