一种大尺寸平面靶冷等静压的方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117774420 A (43)申请公布日 2024.03.29 (21)申请号 202311697239.4 (22)申请日 2023.12.11 (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号A区 (72)发明人 李叶　李帅　蔡常基　余芳　 李明鸿　 (74)专利代理机构 清远市诺誉知识产权代理事 务所(普通合伙) 44815 专利代理师 黄迅 (51)Int.Cl. B30B 9/00 (2006.01) B30B 15/00 (2006.01) B30B 15/04 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图6页 (54)发明名称 一种大尺寸平面靶冷等静压的方法 (57)摘要 本发明涉及ITO平面靶成型技术领域，公开 了一种大尺寸平面靶冷等静压的方法，将靶坯、 PE板交替堆叠并压紧，使靶坯两侧面均与PE板贴 合，进行冷等静压加工；PE板的洛氏硬度为30 ～ 60。本发明通过对PE板的硬度进行选择，能够在 冷等静压时，缓冲靶材与靶材之间的作用力，避 免因为PE板的硬度太低或太高所导致的靶材变 形、靶材开裂的问题。 A 0 2 4 4 7 7 7 1 1 N C CN 117774420 A 权　利　要　求　书