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PCT发明

层叠结构体及层叠结构体的制造方法

2023-05-05 09:50:56 发布于四川 1
  • 申请专利号：CN202080059393.7
  • 公开（公告）日：2024-10-29
  • 公开（公告）号：CN114302982A
  • 申请人：信越化学工业株式会社
摘要：本发明为一种层叠结构体，其具有结晶性衬底和以镓作为主要成分并且具有β‑gallia结构的结晶性氧化物膜，所述结晶性衬底为以钽酸锂作为主要成分的结晶性衬底；由此提供一种具有热稳定结晶性氧化物膜的廉价层叠结构体。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114302982 A (43)申请公布日 2022.04.08 (21)申请号 202080059393.7 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 (22)申请日 2020.06.05 代理人 张晶　谢顺星 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-155018 2019.08.27 JP C30B 29/16 (2006.01) 2019-156117 2019.08.28 JP C30B 25/18 (2006.01) 2019-162451 2019.09.05 JP C30B 33/02 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 2022.02.22 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/022282 2020.06.05 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/039010 JA 2021.03.0

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