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PCT发明

极紫外光刻用工艺液体组合物及使用其的图案形成方法

2023-05-28 12:39:53 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN201980038437.5
  • 公开（公告）日：2024-11-22
  • 公开（公告）号：CN112313582A
  • 申请人：荣昌化学制品株式会社
摘要：本发明涉及一种用于减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯(polyhydroxystyrene)的光致抗蚀剂图案的微桥缺陷改善用工艺液体组合物及利用其的图案形成方法，其中，所述工艺液体组合物包括：0.0001至1重量％的碱性物质；0.0001至1重量％的HLB值为9至16的非离子表面活性剂；及98至99.9998重量％的水。本发明减少由极紫外光曝光光源所限定的包括聚羟基苯乙烯的光致抗蚀剂图案的微桥缺陷数，且具有线宽粗糙度(LWR)值低而提升图案的均匀度的效果。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112313582 A (43)申请公布日 2021.02.02 (21)申请号 201980038437.5 (74)专利代理机构 北京青松知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 11384 (22)申请日 2019.05.22 代理人 郑青松 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 10-2018-0068033 2018.06.14 KR G03F 7/42 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2020.12.09 C11D 11/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 C11D 1/72 (2006.01) PCT/KR2019/006118 2019.05.22 C11D 3/26 (2006.01) (87)PCT国际申请的公布数据 WO2019/240397 KO 2019.12.

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