一种掩膜版的承载装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112904663 A (43)申请公布日 2021.06.04 (21)申请号 202110159598.9 (22)申请日 2021.02.05 (71)申请人 江苏高光半导体材料有限公司 地址 212400 江苏省镇江市句容经济开发 区容宁创业园2#厂房 (72)发明人 钱超　杨波　洪明　王有明　 (74)专利代理机构 南京纵横知识产权代理有限 公司 32224 代理人 董成 (51)Int.Cl. G03F 1/38 (2012.01) G03F 1/82 (2012.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种超薄掩膜版及其加工方法 (57)摘要 本发明涉及超薄掩膜版技术领域，且公开了 一种超薄掩膜版，包括第一L型防护板，所述第一 L型防护板的内侧开设有放置槽，所述放置槽的 内腔活动连接有超薄掩膜版本体。该超薄掩膜版 及其加工方法，通过超薄掩膜版本体的外侧分别 设有第一L型防护板和第二L型防护板，由于第一 L型防护板的形状特点和第二L型防护板的形状 特点，便于对超薄掩膜版本体的四侧进行防护， 通过第一L型防护板和第二L型防护板之间利用 第一伸缩杆、挡板和第一弹簧连接，便于将第二L 型防护板的一侧卡在第一L型防护板的后侧上， 使得第二L型防护板在不受外力的情况下第二L A 型防护板能够与第一L型防护板连接，提高了对 3 超薄掩膜版本体四侧防护的稳定性。 6 6 4