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发明

一种石墨烯薄膜及由原位非晶碳转为石墨烯薄膜的方法

2024-05-30 07:00:14 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202210733430.9
  • 公开（公告）日：2024-05-28
  • 公开（公告）号：CN115011922A
  • 申请人：中国科学院宁波材料技术与工程研究所
摘要：本发明公开了一种石墨烯薄膜及由原位非晶碳转为石墨烯薄膜的方法。所述方法包括：采用物理气相沉积技术制备石墨烯薄膜前驱体；其中，所述石墨烯薄膜前驱体包括依次形成于基体表面的原位非晶碳层、镍催化层及氧化铝封孔层；以及，在真空条件下，对所述石墨烯薄膜前驱体进行退火处理，制得石墨烯薄膜。本发明通过原子层沉积的氧化铝封孔层覆盖镍催化层的晶界空隙，控制C的扩散，使C原子在基体上重构原位得到石墨烯，所制备的石墨烯薄膜质量高，均匀性好，同时可以实现大面积制备。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115011922 A (43)申请公布日 2022.09.06 (21)申请号 202210733430.9 C23C 14/58 (2006.01) C23C 16/40 (2006.01) (22)申请日 2022.06.24 C23C 16/455 (2006.01) (71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 C23C 16/56 (2006.01) 究所 地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大 道519号 (72)发明人 王丽　王振玉　汪爱英　王愿兵　 杨林　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 专利代理师 王茹　王锋 (51)Int.Cl. C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/18 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 一种石墨烯薄膜及由原位非晶碳转为石墨 烯薄膜的方法 (57)摘要 本发明公开了一种石墨烯薄膜及由原位非

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