发明

一种悬浮液等离子喷涂浆料及其制备方法与应用2024

2024-06-01 07:57:19 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202410143752.7
  • 公开(公告)日:2024-05-28
  • 公开(公告)号:CN118086815A
  • 申请人:江苏凯威特斯半导体科技有限公司
摘要:本发明公开了一种悬浮液等离子喷涂浆料及其制备方法与应用,涉及耐等离子刻蚀陶瓷涂层领域。方法包括以下步骤:S1、对基体进行前处理;S2、对前处理后的基体进行热处理;S3、将预处理后的喷涂浆料用APS喷涂到S2处理后的基体表面;S4、将预处理后的喷涂浆料用SPS喷涂到S3所得涂层表面;其中,S4中预处理后的喷涂浆料,预处理方法包括:将喷涂浆料搅拌升温至173‑190℃,保持10‑30min,继续升温至220‑240℃,保持10‑30min。本发明通过对基体表面、喷涂浆料以及涂层进行多步特定预处理或热处理步骤,进一步提升了氧化钇涂层的结合强度,降低了孔隙率和表面粗糙度,所得涂层各项性能优越。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 118086815 A (43)申请公布日 2024.05.28 (21)申请号 202410143752.7 (22)申请日 2024.02.01 (71)申请人 江苏凯威特斯半导体科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山经济技术 开发区团结路31号 (72)发明人 严汪学 张牧 朱文健 靳普云  陈开清 徐钰虹 范彦丽 陆圣波  李泽龙  (74)专利代理机构 哈尔滨市阳光惠远知识产权 代理有限公司 23211 专利代理师 张勇 (51)Int.Cl. C23C 4/11 (2016.01) C23C 4/134 (2016.01) 权利要求书1页 说明书8页 附图11页 (54)发明名称 一种悬浮液等离子喷涂浆料及其制备方法 与应用 (57)摘要 本发明公开了一种悬浮液等离子喷涂浆料 及其制备方法与应用,涉及耐等离子刻蚀陶瓷涂 层领域。方法包括以下步骤:S1、对基体进行前处 理;S2、对前处理后的基体进行热处理;S3、将预 处理后的喷涂浆料用APS喷涂到S2处理后的基体 表面;S4、将预处理后的喷涂浆料用SPS喷涂到S3 所得涂层表面;其中,S4中预处理后的喷涂浆料, 预处理方法包括:将喷涂浆料搅拌升温至173‑ 190℃,保持10‑30min,继续升温至220‑240℃,保 持10‑30min。本发明通过对基体表面、喷涂浆料 以及涂层进行多步特定预处理

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