一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116516228 A (43)申请公布日 2023.08.01 (21)申请号 202310322429.1 C23C 14/35 (2006.01) (22)申请日 2023.03.29 (71)申请人 西北工业大学 地址 710072 陕西省西安市友谊西路127号 申请人 贵州大学 (72)发明人 周青　黄卓斌　谢明达　罗大微　 尹存宏　王海丰　 (74)专利代理机构 西安恒玖慧通知识产权代理 事务所(普通合伙) 61281 专利代理师 韩红芳 (51)Int.Cl. C22C 30/00 (2006.01) C22C 1/04 (2023.01) B22F 3/105 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备 方法 (57)摘要 本发明属于耐磨合金材料技术领域，涉及一 种超硬耐磨难熔高熵合金薄膜及其制备方法。所 述的超硬耐磨难熔高熵合金薄膜具有超细纳米 晶、硬度耐磨性能超常等特征。所述的制备方法 包括以下步骤：制备NbMoWTa难熔高熵合金靶材； 所述的溅射靶材是通过Nb、Mo、W、Ta金属粉末球 磨混合后，在高温下进行等离子体烧结而成 ；采 用磁控溅射法将所得到的难熔高熵合金靶材在 硅基底上