气体混合器及半导体设备

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115821230 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211508983.0 (22)申请日 2022.11.29 (71)申请人 拓荆科技股份有限公司 地址 110179 辽宁省沈阳市浑南区水家900 号 (72)发明人 李旭峰　野沢俊久　关帅　黄明策　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 王雪莎 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) H01L 21/67 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 气体混合器及半导体设备 (57)摘要 本发明提供了一种气体混合器及半导体设 备，涉及半导体设备的技术领域。气体混合器包 括混气器本体；混气器本体内开设贯通混气器本 体的混气流道；混气器本体上开设有用于充入反 应气体的第一流道和用于充入前驱物的第二流 道；第一流道具有沿混气器本体延伸方向设置的 返流流道，返流流道贯穿混气器本体的进气端； 第二流道与混气流道连通。半导体设备包括气体 混合器。达到了气体混合效果好的技术效果。 A 0 3 2 1 2 8 5 1 1 N C CN 115821230 A 权　利　要　求　书 1/2页 1.一种气体混合器，其特征在于，包