一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发射装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114381714 A (43)申请公布日 2022.04.22 (21)申请号 202111647676.6 (22)申请日 2021.12.30 (71)申请人 复旦大学 地址 200433 上海市杨浦区邯郸路220号 (72)发明人 黄良玉　陈纪辉　钱育圆　何贞岑　 江紫环　傅云清　姚科　 (74)专利代理机构 上海科盛知识产权代理有限 公司 31225 代理人 叶敏华 (51)Int.Cl. C23C 16/448 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) G01K 13/00 (2021.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种微型原位测温高温原子分子蒸发和发 射装置 (57)摘要 本发明涉及一种微型原位测温高温原子分 子蒸发和发射装置，包括：真空连接支座上安装 有冷却套筒，冷却套筒的顶部安装有二级蒸气喷 嘴、一级蒸气喷嘴和高温加热套筒，高温加热套 筒内设置有双头坩埚，双头坩埚内放置有原子分 子固态样品，双头坩埚的底部安装有测温探头， 一级蒸气喷嘴和二级蒸气喷嘴均为可替换孔径 式设计的蒸气喷出限束准直孔，冷却套筒用于冷 却和屏蔽装置内部的高温；高温加热套筒用于加 热双头坩埚；测温探头用于原位测量双头坩埚的 内部温度；一级、二级蒸气喷嘴用于实现原子分 A 子蒸气束流半径的一级、