一种声表面波谐振器和射频滤波器

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113098430 A (43)申请公布日 2021.07.09 (21)申请号 202110379108.6 (22)申请日 2021.04.08 (71)申请人 江苏卓胜微电子股份有限公司 地址 214072 江苏省无锡市滨湖区建筑西 路777号A3幢11层 (72)发明人 宋崇希　姚艳龙　邱鲁岩　王放　 (74)专利代理机构 北京品源专利代理有限公司 11332 代理人 孟金喆 (51)Int.Cl. H03H 9/145 (2006.01) H03H 9/25 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图6页 (54)发明名称 一种声表面波谐振器和射频滤波器 (57)摘要 本发明实施例提供一种声表面波谐振器和 射频滤波器，声表面波谐振器包括：衬底；位于衬 底上的压电层；电极层，电极层位于压电层远离 衬底的一侧；电极层包括多个叉指式换能器，叉 指式换能器包括：第一汇流条和交替排布连接至 第一汇流条的第一电极指和第一虚设电极指；第 二汇流条和交替排布连接至第二汇流条的第二 电极指和第二虚设电极指；第一电极指和第二虚 设电极指相对设置，第二电极指和第一虚设电极 指相对设置。本发明实施例提供的声表面波谐振 器和射频滤波器，无需更换衬底和压电层，也无 需增加额外的结构单元，就能实现带宽选择的灵 A 活性，进一步提高了产品的设计自由度。 0 3 4 8 9 0 3 1 1 N