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发明

一种石英环及其制备方法2024

2024-04-21 07:52:09 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202410268562.8
  • 公开（公告）日：2024-04-19
  • 公开（公告）号：CN117902814A
  • 申请人：宁波云德半导体材料有限公司
摘要：本发明提供了一种石英环及其制备方法，制备方法包括：S100、制备石英玻璃：载料气体携带硅原料通过电感耦合等离子体火焰中点燃生成SiO2颗粒，SiO2颗粒沉积生长成石英玻璃；S200、制备CNTs‑石英复合材料：制备CNTs‑石英混合粉体，将混合粉体在惰性气体气氛中进行烧结处理，得到CNTs‑石英复合材料；S300、制备石英环：将CNTs‑石英复合材料切割打磨成环状，进行抛光处理得到石英环。通过气相沉积法制备石英玻璃，可以得到纯度更高的石英玻璃，并且在石英中添加少量的改性CNTs，可以使石英的硬度等性能有所改善，进而使产品性能更好。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117902814 A (43)申请公布日 2024.04.19 (21)申请号 202410268562.8 C03C 3/06 (2006.01) C09G 1/02 (2006.01) (22)申请日 2024.03.11 B28D 1/00 (2006.01) (71)申请人 宁波云德半导体材料有限公司 B24B 29/02 (2006.01) 地址 315000 浙江省宁波市杭州湾新区玉 海东路68号28#厂房 (72)发明人 卢旭彬　秦一川　黄海鸥　 (74)专利代理机构 浙江中桓凯通专利代理有限 公司 33376 专利代理师 刘潇 (51)Int.Cl. C03B 19/06 (2006.01) C03B 1/00 (2006.01) C03B 27/02 (2006.01) C03B 33/04 (2006.01) C03C 1/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书10页 (54)发明名称 一种石英环及其制备方法 (57)摘要 本发明提供了一种石英环及其制备方法，制 备方法包括：S100、制备

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