一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜的制备方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117737681 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202311511226.3 (22)申请日 2023.11.13 (71)申请人 北京工业大学 地址 100124 北京市朝阳区平乐园100号 申请人 佛山耐信涂层技术有限公司 (72)发明人 陈树群　马树腾　李永利　张杰　 李标章　 (74)专利代理机构 北京思海天达知识产权代理 有限公司 11203 专利代理师 张立改 (51)Int.Cl. C23C 14/54 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图2页 (54)发明名称 一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜 的制备方法 (57)摘要 一种航空有机玻璃表面高透明疏水DLC薄膜 的制备方法，属于疏水材料的技术制备领域。本 发明以高纯碳靶为碳源，高纯CF 气体为氟源，通 4 过反应磁控溅射技术在YB‑3型航空有机玻璃表 面低温沉积出厚度约30nm、F原子量约为20％的 DLC薄膜，其透光率达90 .9％，疏水角达108.6°。 本发明薄膜制备工艺易调控，并且可以获得综合 性能良好的透明疏水DLC薄膜。 A 1 8 6