一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜组

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114442439 A (43)申请公布日 2022.05.06 (21)申请号 202210066372.9 G02B 3/00 (2006.01) (22)申请日 2022.01.20 (71)申请人 东北师范大学 地址 130024 吉林省长春市南关区人民大 街5268号 (72)发明人 梁中翥　史晓燕　徐海阳　刘益春　 马剑钢　孟德佳　秦正　杨福明　 刘华　 (74)专利代理机构 长春市东师专利事务所 22202 专利代理师 张铁生　赵军 (51)Int.Cl. G03F 7/20 (2006.01) G02B 13/14 (2006.01) G02B 13/00 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图4页 (54)发明名称 一种用于光刻机的集成紫外全介质超透镜 组 (57)摘要 本发明公开了一种用于光刻机的集成紫外 全介质超透镜组，它包括：第一亚波长阵列结构、 透明基板、第二亚波长阵列结构；所述的第一亚 波长阵列结构与第二亚波长阵列结构设置在透 明基板的相对两侧；两个亚波长阵列结构由多个 单元结构阵列形成；单元结构长和宽均小于工作 波长；亚波长阵列结构会聚光线。一个超透镜组， 还包括两个超透镜，分别为第一超透镜与第二超 透镜；第一超透镜和第二超透镜均为亚波长阵列 结构；第一超