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发明

具有分叉电极的膜体声学谐振器

2022-10-24 10:26:39 发布于四川 259
  • 申请专利号：CN202111594024.0
  • 公开（公告）日：2026-02-06
  • 公开（公告）号：CN115001434A
  • 申请人：珠海晶讯聚震科技有限公司
摘要：本发明涉及一种声学谐振器，所述声学谐振器具有第一电极，所述第一电极具有第一平面部分。具有第二平面部分的第二电极设置成平行于所述第一平面部分。所述第二电极具有限定间隙的分叉端部。压电层设置于所述第一平面部分和所述第二平面部分之间并且接触两者。所述第二电极的所述分叉端部也接触所述压电层。所述间隙形成于滤波器内的每个谐振器的周边中。所述间隙形成于顶部电极中，所述顶部电极通常由钼形成，但也可由其它金属形成。不同于顶部电极和压电材料之间的间隙，本文所叙述的所述间隙整体地处于所述第二电极内。这种结构兼容内部钝化层，所述内部钝化层实现了单晶压电层和较大底部电极。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115001434 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202111594024.0 H03H 9/10 (2006.01) H03H 3/02 (2006.01) (22)申请日 2021.12.23 H03H 3/08 (2006.01) (30)优先权数据 17/480,233 2021.09.21 US (71)申请人 珠海晶讯聚震科技有限公司 地址 300000 天津市东丽区自贸试验区（空 港经济区）西七道18号（3）幢天保工业 厂房102房 (72)发明人 卓尔 ·赫尔维茨　 (74)专利代理机构 广州嘉权专利商标事务所有 限公司 44205 专利代理师 林坤华 (51)Int.Cl. H03H 9/02 (2006.01) H03H 9/05 (2006.01) 权利要求书3页 说明书5页 附图21页 (54)发明名称 具有分叉电极的膜体声学谐振器 (57)摘要 本发明涉及一种声学谐振器，所述声学谐振 器具有第一电极，所述第一电极具有第一平面部 分。具有第二平面部分的第二电极设置成平行于 所述第一平面部分。所述第二电极具有限定间隙 的分叉端部。压电层设

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