一种石英晶片镀膜的装置2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117737680 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202410181364.8 (22)申请日 2024.02.18 (71)申请人 菲特晶（南京）电子有限公司 地址 210038 江苏省南京市栖霞区南京经 济技术开发区新港大道80-2号 (72)发明人 陈凯　夏良军　仲崇玉　夏广贤　 (74)专利代理机构 重庆壹手知专利代理事务所 (普通合伙) 50267 专利代理师 刘军 (51)Int.Cl. C23C 14/50 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图9页 (54)发明名称 一种石英晶片镀膜的装置 (57)摘要 本发明公开了一种石英晶片镀膜的装置，属 于真空镀膜技术领域，为了解决任一镀膜架上的 部件直接卡死，导致整体镀膜设备停止运转的问 题，发明包括泵箱和固定安装在泵箱底面上的若 干支腿，真空镀膜箱体内腔中固定安装有驱动组 件，驱动组件的两侧输出末端分别固定连接有传 动组件A ，驱动组件的两侧分别固定安装有传动 组件B，传动组件A输出端的外周外壁上均套设晶 片放置组件，传动组件A的输出末端均固定连接 有警报组件，本发明当驱动组件其中一侧的晶片 放置组件卡住时，会自行切断动力传输，并且不 影响另一侧晶片放置组件正常运转，对另一侧晶 A 片放置组件上的石英晶片进行正常的镀膜，同 0 时，带动微型发电机运转，为警示灯供电。