一种提高真空密封控制精度的合成炉

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115143780 A (43)申请公布日 2022.10.04 (21)申请号 202210735126.8 (22)申请日 2022.06.27 (71)申请人 连城凯克斯科技有限公司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区锡北镇 泾虹路15号 (72)发明人 刘海　王人松　李占贤　姚逸枫　 (74)专利代理机构 无锡亿联盛知识产权代理有 限公司 32625 专利代理师 李晶晶 (51)Int.Cl. F27B 17/00 (2006.01) F27D 21/00 (2006.01) F27D 99/00 (2010.01) 权利要求书1页 说明书7页 附图6页 (54)发明名称 一种提高真空密封控制精度的合成炉 (57)摘要 本发明属于碳化硅制备技术领域，具体的说 是一种提高真空密封控制精度的合成炉，包括合 成炉本体，所述合成炉本体外部安装有检测壳 体，所述合成炉本体内部贯通连接有多个检测 塞，所述检测塞远离合成炉本体的一端固定有传 动板，所述传动板远离检测塞的一端固定有导动 杆，所述导动杆远离传动板的一端固定有滑动拨 片，所述滑动拨片外部滑动连接有变阻器；通过 气压带动检测塞滑动，进而带动滑动拨片在变阻 器内滑动改变变阻器在电路中的阻值，通过对变 阻器阻值的监测即可实时的监测到合成炉本体 内部的真空度情况，而通过设置多个变阻器即可 A 自多个不同方位对合成炉本体真空度情况进行 0 判定，达到