一种晶圆蚀刻清洗机用晶圆夹持机构2025

专利内容

本实用新型涉公开了一种晶圆蚀刻清洗机用晶圆夹持机构，包括底座，底座的两侧均固定安装有一个侧板，两个侧板相对一侧表面上方均安装有一个电动伸缩杆，电动伸缩杆的输出端固定安装有弧形夹持板，底座的上表面安装有支撑座，弧形夹持板上开设有第一卡槽并转动安装有若干个第一转动辊，支撑座的顶部开设有第二卡槽并转动安装有两个第二转动辊，支撑座对应第二转动辊处设置有电机；通过设置支撑座和弧形夹持板，在弧形夹持板内转动安装第一转动辊，在支撑座内转动安装第二转动辊并通过电机驱动，使晶圆被夹持后能够跟随第二转动辊转动，解决了不能够清洗到晶圆被夹持部位的问题，而且无需工作人员调整晶圆位置，提高了晶圆的清洗效果和清洗效率。H01L21/687(2006.01);H01L21/67(2006.01)