切割液及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114989880 A (43)申请公布日 2022.09.02 (21)申请号 202210796801.8 (22)申请日 2022.07.06 (71)申请人 湖南三安半导体有限责任公司 地址 410000 湖南省长沙市高新开发区长 兴路399号 (72)发明人 江文宇　 (74)专利代理机构 北京超凡宏宇专利代理事务 所(特殊普通合伙) 11463 专利代理师 颜欢 (51)Int.Cl. C10M 169/04 (2006.01) C10M 177/00 (2006.01) C10N 30/04 (2006.01) C10N 30/06 (2006.01) 权利要求书1页 说明书6页 附图1页 (54)发明名称 切割液及其制备方法 (57)摘要 本申请公开了一种切割液及其制备方法，涉 及半导体领域。本申请实施例提供的切割液包括 液态材料以及分散于液态材料中的磨料颗粒和 二维层状材料，利用二维层状材料的结构特点和 在液相中优秀的分散性和稳定性来提高磨料颗 粒在切割液中的悬浮性与稳定性，使得切割液有 着较佳的切割效果，并且重复利用率高，有利于 降低成本。本申请提供的制备方法用于制备上述 的切割液。 A 0 8 8 9 8 9 4 1 1 N C CN 114989880 A 权　利　要　求　书