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PCT发明

由有机锰化合物构成的化学蒸镀用原料和使用该化学蒸镀用原料的化学蒸镀法

2023-04-24 09:42:12 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080042968.4
  • 公开（公告）日：2024-07-02
  • 公开（公告）号：CN114008238A
  • 申请人：田中贵金属工业株式会社
摘要：本发明涉及一种化学蒸镀用原料，其是用于通过化学蒸镀法制造锰薄膜或锰化合物薄膜的化学蒸镀用原料，其由在锰上配位有环戊二烯基配体(L1)和异腈配体(L2)的下述化学式所示的有机锰化合物构成。本发明具有作为化学蒸镀用原料的基本特性，并且能够以氢气等还原性气体作为反应气体来进行锰薄膜的成膜。(所述式中，环戊二烯基配体(L1)的取代基R1～R5各自为氢或者直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。异腈配体(L2)的取代基R6为直链、支链或环状的碳原子数1以上且4以下的烷基。Mn(L1)(L2)3

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114008238 A (43)申请公布日 2022.02.01 (21)申请号 202080042968.4 (74)专利代理机构 中原信达知识产权代理有限 责任公司 11219 (22)申请日 2020.06.15 代理人 盛曼　金龙河 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 2019-111737 2019.06.17 JP C23C 16/18 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 21/768 (2006.01) 2021.12.10 C07F 13/00 (2006.01) (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/JP2020/023378 2020.06.15 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/255913 JA 2020.12.24 (71)申请人 田中贵金属工业株式会社 地址 日本东京都

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