一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及其制法与应用
- 申请专利号:CN202211572430.1
- 公开(公告)日:2024-11-15
- 公开(公告)号:CN115821206A
- 申请人:中国科学院宁波材料技术与工程研究所
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115821206 A (43)申请公布日 2023.03.21 (21)申请号 202211572430.1 C23C 16/26 (2006.01) C23C 14/22 (2006.01) (22)申请日 2022.12.08 C23C 16/50 (2006.01) (71)申请人 中国科学院宁波材料技术与工程研 C23C 28/00 (2006.01) 究所 地址 315201 浙江省宁波市镇海区庄市大 道519号 (72)发明人 郭武明 王立平 王海新 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 专利代理师 何胜男 王锋 (51)Int.Cl. C23C 14/06 (2006.01) C23C 14/16 (2006.01) C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/02 (2006.01) 权利要求书2页 说明书8页 附图4页 (54)发明名称 一种异质多层结构的超厚碳基复合涂层及 其制法与应用 (57)摘要 本发明公开了一种异质