一种加热器及其工作方法

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(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115044966 A (43)申请公布日 2022.09.13 (21)申请号 202210588592.8 (22)申请日 2022.05.26 (71)申请人 西安奕斯伟材料科技有限公司 地址 710100 陕西省西安市高新区西沣南 路1888号1-3-029室 (72)发明人 宋少杰　宋振亮　 (74)专利代理机构 西安维英格知识产权代理事 务所(普通合伙) 61253 专利代理师 沈寒酉　侯丽丽 (51)Int.Cl. C30B 15/14 (2006.01) C30B 15/20 (2006.01) C30B 30/04 (2006.01) C30B 27/02 (2006.01) C30B 29/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图11页 (54)发明名称 一种加热器及其工作方法 (57)摘要 本发明实施例公开了一种在拉晶过程中使 用的加热器，所述加热器包括：端子，所述端子设 置成能够经由所述端子向所述加热器供电；圆筒 形的主体，所述主体形成为能够设置在用于容纳 多晶硅原料的坩埚的周向外部，其中，所述主体 的周向壁设置成能够提供与施加于所述坩埚的 磁场相适配的热场，以使得由所述多晶硅原料拉 制成的单晶硅棒具有期望的氧浓度。 A 6 6 9 4 4 0 5 1 1 N C CN 115044966 A