三维存储器设备、系统及其形成方法
- 申请专利号:CN202280000476.8
- 公开(公告)日:2022-05-27
- 公开(公告)号:CN114556565A
- 申请人:长江存储科技有限责任公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114556565 A (43)申请公布日 2022.05.27 (21)申请号 202280000476.8 (74)专利代理机构 北京永新同创知识产权代理 有限公司 11376 (22)申请日 2022.01.13 专利代理师 林锦辉 刘景峰 (66)本国优先权数据 (51)Int.Cl. PCT/CN2021/103762 2021.06.30 CN H01L 27/11573 (2017.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 H01L 27/11575 (2017.01) 2022.03.18 H01L 27/11582 (2017.01) (86)PCT国际申请的申请数据 H01L 27/1157 (2017.01) PCT/CN2022/071723 2022.01.13 (71)申请人 长江存储科技有限责任公司 地址 430000 湖北省武汉市
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