一种涂层均匀的PVD涂层机

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116590663 A (43)申请公布日 2023.08.15 (21)申请号 202310547246.X (22)申请日 2023.05.16 (71)申请人 苏州豪尔葳纳米科技有限公司 地址 215126 江苏省苏州市工业园区界浦 路61号3幢101室 (72)发明人 周军萍　沈荣　 (74)专利代理机构 无锡风创知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32461 专利代理师 程小敏 (51)Int.Cl. C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/50 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图7页 (54)发明名称 一种涂层均匀的PVD涂层机 (57)摘要 本发明涉及PVD涂层装置技术领域，且公开 一种涂层均匀的PVD涂层机，包括涂层装置本体， 所述涂层装置本体的内壁转动连接有主转轴，且 主转轴的一端贯穿涂层装置本体并延伸至涂层 装置本体外部设置，涂层装置本体的外壁固定连 接有第一电机，且第一电机的驱动端与主转轴固 定连接，主转轴的外壁固定套设有转盘，且转盘 的一侧侧壁转动连接有多个副转轴，副转轴的外 壁固定套设有安装盘。本发明，通过设置主转轴、 转盘与第一电机等配合使用，在使用的时候，可 以保证刀具位于涂层装置本体内部的受热均匀， 且通过设置自动上料机构，可以自动完成刀具的 A 上料，进而节省人力，同时，该装置一次可以上多 3 个料，进而节省上料的时间。 6 6 0