一种IZO靶材及其制备方法2023

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117263653 A (43)申请公布日 2023.12.22 (21)申请号 202311250111.3 C23C 14/35 (2006.01) C23C 14/34 (2006.01) (22)申请日 2023.09.26 (71)申请人 西北稀有金属材料研究院宁夏有限 公司 地址 753000 宁夏回族自治区石嘴山市大 武口区冶金路119号 (72)发明人 孟将　胡强楠　征卫星　李正飞　 罗文　张帅　左宁伟　杨龙　 韩建华　王欢　马肖　 (74)专利代理机构 中国和平利用军工技术协会 专利中心 11215 专利代理师 彭霜 (51)Int.Cl. C04B 35/01 (2006.01) C04B 35/622 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 (54)发明名称 一种IZO靶材及其制备方法 (57)摘要 本发明给出了一种IZO靶材及其制备方法， 属于靶材技术领域，该方法包括：将氧化铟粉末、 掺杂金属氧化物粉末和氧化锌粉末在水中混合 均匀，得到固含量为55 ～65％的浆料；向所述浆 料加入聚乙烯羧酸分散剂后，搅拌28 ～32分钟， 并在砂磨机内研磨，再加入聚乙烯醇粘结剂，分 散28 ～32分钟后，喷雾造粒制成粉末；将喷雾