真空泵和用于监控真空泵的方法
- 申请专利号:CN202110336661.1
- 公开(公告)日:2025-04-18
- 公开(公告)号:CN113446243A
- 申请人:普发真空技术股份公司
专利内容
(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113446243 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110336661.1 (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理 有限公司 44224 (22)申请日 2021.03.29 代理人 易皎鹤 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 20166248.3 2020.03.27 EP F04D 19/04 (2006.01) 20170014.3 2020.04.17 EP F04D 27/00 (2006.01) (71)申请人 普发真空技术股份公司 地址 德国阿斯拉 (72)发明人 帕斯卡尔 ·维尔舍 约亨 ·伯切尔 维克托 ·多施特 米尔科 ·马科塔 米夏埃尔 ·施魏格赫费尔 丹尼尔 ·西本 赫伯特 ·施塔姆勒 托比亚斯 ·施托尔 艾德里安 ·维尔特 权利要求书3页
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