发明

真空泵和用于监控真空泵的方法

2023-06-23 08:26:43 发布于四川 0
  • 申请专利号:CN202110336661.1
  • 公开(公告)日:2025-04-18
  • 公开(公告)号:CN113446243A
  • 申请人:普发真空技术股份公司
摘要:本发明涉及一种真空泵或包括至少一个真空泵的真空系统,其中将惯性测量单元分配给真空泵,该惯性测量单元包括至少一个惯性传感器,该惯性传感器设计为获取真空泵的运动和/或真空泵的取向,并且提供与之相关的测量数据和/或提供通过评估该测量数据获得的信息。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113446243 A (43)申请公布日 2021.09.28 (21)申请号 202110336661.1 (74)专利代理机构 广州华进联合专利商标代理 有限公司 44224 (22)申请日 2021.03.29 代理人 易皎鹤 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 20166248.3 2020.03.27 EP F04D 19/04 (2006.01) 20170014.3 2020.04.17 EP F04D 27/00 (2006.01) (71)申请人 普发真空技术股份公司 地址 德国阿斯拉 (72)发明人 帕斯卡尔 ·维尔舍 约亨 ·伯切尔  维克托 ·多施特 米尔科 ·马科塔  米夏埃尔 ·施魏格赫费尔  丹尼尔 ·西本 赫伯特 ·施塔姆勒  托比亚斯 ·施托尔  艾德里安 ·维尔特  权利要求书3页

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