一种在超导腔内部对锡源进行局部加热的电磁感应结构

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(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113817990 A (43)申请公布日 2021.12.21 (21)申请号 202111085867.8 (22)申请日 2021.09.16 (71)申请人 中国科学院近代物理研究所 地址 730013 甘肃省兰州市城关区南昌路 509号 (72)发明人 杨自钦　吴安东　何源　谢斌　 初青伟　皇世春　谭腾　张生虎　 (74)专利代理机构 北京纪凯知识产权代理有限 公司 11245 代理人 吴爱琴 (51)Int.Cl. C23C 14/26 (2006.01) C23C 14/14 (2006.01) 权利要求书2页 说明书4页 附图1页 (54)发明名称 一种在超导腔内部对锡源进行局部加热的 电磁感应结构 (57)摘要 本发明公开一种在超导腔内部对锡源进行 局部加热的电磁感应结构。包括：具有若干加速 单元的超导腔，所述超导腔为Nb Sn薄膜生长的 3 衬底结构；电磁感应加热线圈，所述电磁感应加 热线圈一端接交变电源正极，另一端接交变电源 负极，用于对放在线圈中间的锡源进行加热；锡 源坩埚，所述超导腔的每一个加速单元内均放置 有一个锡源坩埚，所述锡源坩埚为盛放锡金属颗 粒的容器；支撑直杆用作所述锡源坩埚的支撑结 构；温度热偶，用于测量所述超导腔内的温度。本 发明能够对位于多加速单元超导腔内部的多个 A 锡源进行局部加热，在