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PCT发明

基于波长扫描的对准传感器

2023-04-27 13:32:04 发布于四川 0
  • 申请专利号：CN202080054578.9
  • 公开（公告）日：2024-10-01
  • 公开（公告）号：CN114174929A
  • 申请人：ASML控股股份有限公司
摘要：一种对准方法，包括：将具有变化的波长或频率的照射束引向对准目标，从对准目标收集衍射束并引向干涉仪。对准方法还包括通过干涉仪从衍射束产生两个衍射子束，其中衍射子束被正交偏振、围绕对准轴相对于彼此旋转180度，并且在空间上重叠。对准方法还包括基于时间相移测量衍射束的干涉强度，其中时间相移是照射束的变化的波长或频率和衍射束之间的固定光程差的函数。对准方法还包括根据测量的干涉强度确定对准目标的位置。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 114174929 A (43)申请公布日 2022.03.11 (21)申请号 202080054578.9 (74)专利代理机构 北京市金杜律师事务所 11256 (22)申请日 2020.07.22 代理人 赵林琳　郑振 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/880,715 2019.07.31 US G03F 9/00 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G03F 7/20 (2006.01) 2022.01.27 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/070612 2020.07.22 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2021/018676 EN 2021.02.04 (71)申请人 ASML控股股份有限公司 地址 荷兰维德霍温 (72)发明人 M ·埃拉尔普　 权利要求书1页 说明书20页 附图1

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