一种金刚线切割液、其制备方法与应用2024
- 申请专利号:CN202310771377.6
- 公开(公告)日:2024-12-10
- 公开(公告)号:CN116836750A
- 申请人:大连奥首科技有限公司
专利内容
(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116836750 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310771377.6 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人 大连奥首科技有限公司 地址 116000 辽宁省大连市高新技术产业 园区火炬路1号A座2层201-1号 (72)发明人 侯军 孙瑶 李传友 褚雨露 (74)专利代理机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 常孟 (51)Int.Cl. C10M 173/00 (2006.01) C10M 173/02 (2006.01) H01L 21/78 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) C10N 30/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书11页 附图2页 (54)发明名称 一种金刚线切割液、其制备方法与应用 (57)摘要 本申请公开了一种金刚线切割液、其制备方 法与应用,以质量份计,切割液包括:10~30份的 表面活性剂、10~20份的润湿剂、10~30份的渗 透剂、0.5~5份的消泡剂和30~50份的超纯水。 本申请的切割液中同时具有含碳氟链的表面活 性剂和含碳氢链的表面活性剂,使得切割液具有 更加优异的润湿性,有效减少硅片厚度不均以及 切割过程的卡线问题;且上述的两种表面活性剂 复配后还提高了切割液的缓蚀效果,有效减少切 割过程的金刚线断线问题