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一种金刚线切割液、其制备方法与应用2024

2023-10-11 07:13:16 发布于四川 1
  • 申请专利号:CN202310771377.6
  • 公开(公告)日:2024-12-10
  • 公开(公告)号:CN116836750A
  • 申请人:大连奥首科技有限公司
摘要:本申请公开了一种金刚线切割液、其制备方法与应用,以质量份计,切割液包括:10~30份的表面活性剂、10~20份的润湿剂、10~30份的渗透剂、0.5~5份的消泡剂和30~50份的超纯水。本申请的切割液中同时具有含碳氟链的表面活性剂和含碳氢链的表面活性剂,使得切割液具有更加优异的润湿性,有效减少硅片厚度不均以及切割过程的卡线问题;且上述的两种表面活性剂复配后还提高了切割液的缓蚀效果,有效减少切割过程的金刚线断线问题。本申请的切割液具有优异的切割能力,能够起到很好的防腐蚀效果,并有效保护金刚线,保证了切割质量与效率。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116836750 A (43)申请公布日 2023.10.03 (21)申请号 202310771377.6 (22)申请日 2023.06.27 (71)申请人 大连奥首科技有限公司 地址 116000 辽宁省大连市高新技术产业 园区火炬路1号A座2层201-1号 (72)发明人 侯军 孙瑶 李传友 褚雨露  (74)专利代理机构 深圳紫藤知识产权代理有限 公司 44570 专利代理师 常孟 (51)Int.Cl. C10M 173/00 (2006.01) C10M 173/02 (2006.01) H01L 21/78 (2006.01) H01L 21/304 (2006.01) C10N 30/12 (2006.01) 权利要求书1页 说明书11页 附图2页 (54)发明名称 一种金刚线切割液、其制备方法与应用 (57)摘要 本申请公开了一种金刚线切割液、其制备方 法与应用,以质量份计,切割液包括:10~30份的 表面活性剂、10~20份的润湿剂、10~30份的渗 透剂、0.5~5份的消泡剂和30~50份的超纯水。 本申请的切割液中同时具有含碳氟链的表面活 性剂和含碳氢链的表面活性剂,使得切割液具有 更加优异的润湿性,有效减少硅片厚度不均以及 切割过程的卡线问题;且上述的两种表面活性剂 复配后还提高了切割液的缓蚀效果,有效减少切 割过程的金刚线断线问题

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