一种C12A7：e-电子化合物靶材及其制备方法

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115044977 A (43)申请公布日 2022.09.13 (21)申请号 202210573634.0 (22)申请日 2022.05.24 (71)申请人 先导薄膜材料（广东）有限公司 地址 511517 广东省清远市高新区百嘉工 业园27-9号A区 (72)发明人 沈文兴　白平平　童培云　 (74)专利代理机构 广州三环专利商标代理有限 公司 44202 专利代理师 薛梦 (51)Int.Cl. C30B 29/22 (2006.01) C30B 11/00 (2006.01) C01F 7/164 (2022.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图1页 (54)发明名称 一种C12A7：e-电子化合物靶材及其制备方 法 (57)摘要 本发明公开了一种C12A7：e‑电子化合物靶 材及其制备方法，属于无机材料靶材制备技术领 域，该方法包括以下步骤：(1)将CaCO 、Al O 粉混 3 2 3 合均匀后，置于石墨坩埚中，在通入惰性气体气 氛炉中进行固相反应，形成C12A7化合物；(2)将 步骤(1)所得的C12A7化合物破碎成粉体，将粉体 置于带盖石墨桶中，然后将装有粉体的石墨桶置 于真空感应炉中进行熔炼还原，采用定向凝固的 方式，形成C12A7：e‑电子化合物；(3)将步骤(2) 所得C12A7：e‑电子化合物加工后，与背板进行绑