一种氮化镓激光器及基于反波导改善其横向模式的方法2026

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117748292 A (43)申请公布日 2024.03.22 (21)申请号 202211112921.8 H01S 5/30 (2006.01) (22)申请日 2022.09.13 (71)申请人 广东中科半导体微纳制造技术研究 院 地址 528000 广东省佛山市南海区狮山镇 科教路1号 申请人 中国科学院苏州纳米技术与纳米仿 生研究所 (72)发明人 张书明　冯美鑫　孙钱　 (74)专利代理机构 南京利丰知识产权代理事务 所(特殊普通合伙) 32256 专利代理师 王锋 (51)Int.Cl. H01S 5/22 (2006.01) H01S 5/20 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图2页 (54)发明名称 一种氮化镓激光器及基于反波导改善其横 向模式的方法 (57)摘要 本申请公开了一种氮化镓激光器及基于反 波导改善其横向模式的方法。所述的方法包括： 对氮化镓激光器的外延结构进行加工，以将其中 的接触层、第二光学限制层和第二波导层部分去 除，从而形成脊型结构；在第二波导层表面位于 所述脊型结构周围的至少部分区域上设置高折 射率薄膜，以形成反波导结构。本申请通过在氮 化镓激光器中形成所述的反波导结构，可以实现 对脊型结构以外区域有效折射率的调制，为脊型 结构与