一种石墨纸籽晶承载装置及其制备工艺

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116657250 A (43)申请公布日 2023.08.29 (21)申请号 202310648733.5 (22)申请日 2023.06.02 (71)申请人 安徽微芯长江半导体材料有限公司 地址 244000 安徽省铜陵市经济开发区西 湖三路 (72)发明人 忻隽　贺贤汉　孔海宽　陈建军　 涂小牛　 (74)专利代理机构 铜陵市天成专利事务所(普 通合伙) 34105 专利代理师 李坤 (51)Int.Cl. C30B 29/36 (2006.01) C30B 23/00 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图4页 (54)发明名称 一种石墨纸籽晶承载装置及其制备工艺 (57)摘要 本发明提供一种石墨纸籽晶承载装置及其 制备工艺，包括生长腔室、承载托、位控组件等组 件，其中承载托包括可以相互分离的第一承载组 件以及第二承载组件，在高温制备碳化硅晶体的 过程中，控制第一承载组件以及第二承载组件底 端端面平齐，能够以平整密封的端面来安装碳化 硅籽晶 ，以避免籽晶发生背升华，避免引起晶体 缺陷的形成 ；在降温的过程中 ，控制第二承载组 件抬升远离第一承载组件，此时能够形成交替的 间隙，能够在降温的过程中让晶体内部的应力能 够释放。该发明能够解决降温的过程中晶体内部 应力释放的问题，提高成品碳化硅晶体的质量。 A 0 5 2 7 5 6 6 1 1