1. 您所在位置：
  2. 网站首页
  3. 专利分类
  4. 化学/冶金
实用新型

薄膜沉积设备的腔盖开合机构及腔体设备2024

2024-04-07 07:53:09 发布于四川 10
  • 申请专利号：CN202322419060.4
  • 公开（公告）日：2024-04-05
  • 公开（公告）号：CN220724311U
  • 申请人：株洲三一硅能技术有限公司
摘要：本实用新型涉及光伏电池制造设备技术领域，提供一种薄膜沉积设备的腔盖开合机构及腔体设备，所述的腔盖开合机构，包括：腔盖，可翻转地连接在腔体上，用于开启或闭合腔体；顶升支撑装置，包括第一伸缩驱动件，第一伸缩驱动件设置在腔体与腔盖之间，第一伸缩驱动件的驱动端与腔盖连接，用于通过伸缩驱动腔盖翻转，并对翻转后的腔盖从其内侧提供支撑力；本实用新型通过在腔体与腔盖之间设置顶升支撑装置，结构简单，无需另设其它设备，减少了成本投入和地面空间占用率，通过推动腔盖转动至设定角度将腔体打开，并在打开后从腔盖内侧对其提供支撑力，保证了腔盖打开后进行腔内维护时，更加安全可靠。

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 220724311 U (45)授权公告日 2024.04.05 (21)申请号 202322419060.4 H01L 31/18 (2006.01) (22)申请日 2023.09.06 (73)专利权人 株洲三一硅能技术有限公司 地址 412000 湖南省株洲市石峰区铜塘湾 街道清霞路与老工业路交汇处西南侧 南1跨厂房 (72)发明人 石鹏飞　 (74)专利代理机构 北京路浩知识产权代理有限 公司 11002 专利代理师 戴弘 (51)Int.Cl. C23C 14/22 (2006.01) C23C 14/54 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书2页 说明书5页 附图2页 (54)实用新型名称 薄膜沉积设备的腔盖开合机构及腔体设备 (57)摘要 本实用新型涉及光伏电池制造设备技术领 域，提供一种薄膜沉积设备的腔盖开合机构及腔 体设备，所述的腔盖开合机构，包括：腔盖，可翻 转地连接在腔体上，用于开启或闭合腔体；顶升 支撑装置，包括第一伸缩驱动件，第一伸缩驱动 件设置在腔体与腔盖之间，第一伸缩驱动件的驱 动端与腔盖连接，用于通过伸缩驱动腔盖翻转， 并对翻转后的腔盖从其内侧提供支撑力；本实用 新型通过在腔体与腔盖之间设置顶升支撑装置，

最新专利

相关专利