一种用于碳化硅单晶退火的装置

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 115029787 A (43)申请公布日 2022.09.09 (21)申请号 202210857263.9 (22)申请日 2022.07.20 (71)申请人 广州南砂晶圆半导体技术有限公司 地址 511458 广东省广州市南沙区珠江街 南江二路7号自编2栋2层201室 (72)发明人 熊希希　杨祥龙　陈秀芳　胡小波　 于国建　王垚浩　 (51)Int.Cl. C30B 33/02 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种用于碳化硅单晶退火的装置 (57)摘要 本申请提供了一种用于碳化硅单晶退火的 装置，包括石墨感应加热器，石墨感应加热器放 置在感应加热线圈所围成加热区的中心位置，石 墨感应加热器为中空的筒形结构，内部用于放置 碳化硅单晶；沿石墨感应加热器的轴向方向，石 墨感应加热器的侧壁分为第一感应加热部、第二 感应加热部和第三感应加热部；第二感应加热部 的壁厚大于第一、第三感应加热部的壁厚，并且 第二感应加热部的壁厚或者第二感应加热部与 设置在石墨感应加热器内部的石墨坩埚的壁厚 之和大于石墨感应加热的趋肤深度。这样，可以 在石墨感应加热器内部整个轴向方向上构建一 A 个温度梯度小的温场，从而减小晶体轴向方向上 7 的温差，进而能很大程度上消除碳化硅晶体内部 8 7 9 残余应力。 2 0 5 1 1 N C CN 115029787 A 权　利　要　求　书