一种LPCVD双层炉管及其操控方法2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 116732495 A (43)申请公布日 2023.09.12 (21)申请号 202310877650.3 (22)申请日 2023.07.17 (71)申请人 赛瑞达智能电子装备 （无锡）有限公 司 地址 214000 江苏省无锡市锡山区精密机 械产业园4号厂房一层南侧厂房及办 公场地 (72)发明人 刘永法　刘敏星　 (51)Int.Cl. C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) 权利要求书1页 说明书5页 附图3页 (54)发明名称 一种LPCVD双层炉管及其操控方法 (57)摘要 本发明公开了一种LPCVD双层炉管及其操控 方法，旨在提供一种在石英管内安装有一层超薄 金属管从而提高整个炉管使用寿命的LPCVD双层 炉管，其技术方案要点是，包括外管，所述外管内 还设置有金属管，所述外管一端为炉尾，所述外 管另一端为炉口，所述金属管朝向炉口的一端通 过设置密封装置与外管连接，所述金属管朝向炉 尾的一端设置有用于调节金属管内外压力的气 压调节装置。 A 5 9 4 2 3 7 6 1 1 N C CN 116732495 A 权　利　要　求　书 1/1页 1.一种LPCVD双层炉管，包括外管(1)，其特征在