一种光伏TOPCon电池片基片表面薄膜沉积装置及工艺2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 117127170 A (43)申请公布日 2023.11.28 (21)申请号 202311091766.0 (22)申请日 2023.08.29 (71)申请人 浙江东渐产业控股集团有限公司 地址 310020 浙江省杭州市上城区红普路 788号创智绿谷发展中心6幢174室 (72)发明人 请求不公布姓名　 (74)专利代理机构 上海创开专利代理事务所 (普通合伙) 31374 专利代理师 吴海燕 (51)Int.Cl. C23C 16/455 (2006.01) C23C 16/44 (2006.01) C23C 16/24 (2006.01) H01L 31/18 (2006.01) 权利要求书2页 说明书6页 附图8页 (54)发明名称 一种光伏TOPCon电池片基片表面薄膜沉积 装置及工艺 (57)摘要 本发明中公开了一种光伏TOPCon电池片基 片表面薄膜沉积装置及工艺，涉及光伏TOPCon电 池片基片加工技术领域；具体包括壳体，所述壳 体的内部设置有沉积腔，且沉积腔的外侧设置有 控制薄膜沉积环境温度的加热环，所述壳体的顶 部安装有端盖，且壳体的侧面安装有控制端盖开 合的开合盖组件，所述端盖的底部设置有环形分 布的换气腔，且端盖的顶部安装有控制换气的电 磁阀。本发明中在扰流桨板和隔板的相对运行作 用下，使得两股交汇气相呈螺旋状向上运动，气 相均匀的击穿基片表面的氧化膜层，且多