发明

一体化控制的大型精密装备隔振系统

2023-06-23 07:12:45 发布于四川 2
  • 申请专利号:CN202110677299.4
  • 公开(公告)日:2025-03-28
  • 公开(公告)号:CN113294487A
  • 申请人:中国电子工程设计院有限公司
摘要:本发明公开了一种一体化控制的大型精密装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装备隔振系统,在大型精密装备内部设置了多个竖向排布的承载平台,并一体化受控于隔振组件之上,通过一体化的方式实现对不同维度的精密器件的隔振,解决了困扰业界许久的问题,该系统在满足设备多维度隔振效果的基础上,还能够大幅降低投入和运行成本,提高精密装备检测效率。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113294487 A (43)申请公布日 2021.08.24 (21)申请号 202110677299.4 F16F 15/08 (2006.01) F16M 5/00 (2006.01) (22)申请日 2021.06.18 (71)申请人 中国电子工程设计院有限公司 地址 100142 北京市海淀区西四环北路160 号 (72)发明人 娄宇 刘海宏 夏艳 陈骝 颜枫  孙宁 左汉文 赵明慧 窦硕  胡书广 林岱中  (74)专利代理机构 北京同达信恒知识产权代理 有限公司 11291 代理人 王丽莉 (51)Int.Cl. F16F 15/023 (2006.01) F16F 15/04 (2006.01) F16F 15/06 (2006.01) 权利要求书2页 说明书7页 附图4页 (54)发明名称 一体化控制的大型精密装备隔振系统 (57)摘要 本发明公开了一种一体化控制的大型精密 装备隔振系统,涉及大型精密装备隔振技术领 域,包括隔振组件及承载平台,隔振组件设置于 精密装备下方,承载平台为多个,多个承载平台 在精密装备内竖向排布,且各个承载平台均由隔 振组件支撑。本发明的一体化控制的大型精密装 备隔振系统,

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