一种在线式甩干干燥装置

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 112577276 A (43)申请公布日 2021.03.30 (21)申请号 202011592957.1 H01L 21/67 (2006.01) (22)申请日 2020.12.29 (71)申请人 无锡琨圣智能装备股份有限公司 地址 214000 江苏省无锡市新吴区锡贤路 106号 (72)发明人 张素明　李德保　 (74)专利代理机构 无锡苏元专利代理事务所 (普通合伙) 32471 代理人 吴忠义 (51)Int.Cl. F26B 11/04 (2006.01) F26B 21/00 (2006.01) F26B 25/16 (2006.01) F26B 25/18 (2006.01) F26B 5/08 (2006.01) 权利要求书1页 说明书4页 附图3页 (54)发明名称 一种在线式甩干干燥装置 (57)摘要 本发明公开了一种在线式甩干干燥装置，包 括槽体，所述槽体内腔设有旋转花篮，承载盒置 于所述旋转花篮内，所述旋转花篮的一端与旋转 驱动部件连接，气电滑环与所述旋转驱动部件连 接，所述承载盒的一侧设有挡边机构，另一侧设 有翻板压紧机构，所述槽体内腔靠近所述翻板压 紧机构处还设有平板风道；减少硅片或晶圆的污 染,减少硅片或晶圆的水纹印，减少或避免水痕 片,降低设备能耗、节省能源,无易挥发的有机