一种微波加热的化学气相沉积设备2024

专利内容

(19)国家知识产权局 (12)实用新型专利 (10)授权公告号 CN 221028671 U (45)授权公告日 2024.05.28 (21)申请号 202322688010.6 (22)申请日 2023.10.08 (73)专利权人 湖北新德晟材料科技有限公司 地址 436000 湖北省鄂州市葛店开发区光 谷联合科技城C8-2-2号房 (72)发明人 熊飞　王中喜　王安琪　刘杰　 (74)专利代理机构 北京曼京知识产权代理事务 所(普通合伙) 11965 专利代理师 林惠楠 (51)Int.Cl. C23C 16/50 (2006.01) C23C 16/52 (2006.01) C23C 16/458 (2006.01) C23C 16/455 (2006.01) 权利要求书1页 说明书3页 附图2页 (54)实用新型名称 一种微波加热的化学气相沉积设备 (57)摘要 本实用新型涉及金刚石膜制备技术领域，公 开了一种微波加热的化学气相沉积设备，包括气 体混合器和微波反应室，微波反应室开口端铰接 有密封门，气体混合器表面固定连通有进气管和 排气管，进气管与外部气源连通，排气管出口端 固定连通有连通管，连通管出口端延伸至微波反 应室内，排气管与连通管之间设置有流量调节 器，连通管出口端设置有单向流通机构，微波反 应室内腔底壁开设有滑槽，滑槽内侧壁滑动连接 有滑块，滑块上表面固定连接有基片台，基片台 下表面设置有传动机构；本实用新型能够有效避 免反应气体回流