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自参考干涉仪和双重自参考干涉仪装置

2023-06-18 07:09:00 发布于四川 1

申请专利号：CN202080039578.1
公开（公告）日：2024-10-11
公开（公告）号：CN113939770A
申请人：ASML控股股份有限公司

摘要：一种用于对准传感器设备的自参考干涉仪(SRI)系统，包括第一棱镜和第二棱镜。所述第一棱镜具有用于入射束的输入表面。所述第二棱镜被耦合至所述第一棱镜并且具有用于经重新组合的束的输出表面。所述经重新组合的束包括第一图像和相对于所述第一图像被转动180度的第二图像。所述第一棱镜和第二棱镜形状相同。一种用于对准传感器设备的双重自参考干涉仪(DSRI)系统，包括：第一棱镜组件，所述第一棱镜组件具有用于第一入射束和第二入射束的输入表面；和第二棱镜组件，所述第二棱镜组件耦合至所述第一棱镜组件并且具有用于第一经重新组合的束和第二经重新组合的束的输出表面。所述第一棱镜组件和第二棱镜组件形状相同。

专利内容

(19)中华人民共和国国家知识产权局 (12)发明专利申请 (10)申请公布号 CN 113939770 A (43)申请公布日 2022.01.14 (21)申请号 202080039578.1 (74)专利代理机构中科专利商标代理有限责任公司 11021 (22)申请日 2020.05.19 代理人王益 (30)优先权数据 (51)Int.Cl. 62/854,398 2019.05.30 US G03F 7/20 (2006.01) (85)PCT国际申请进入国家阶段日 G02B 27/28 (2006.01) 2021.11.26 (86)PCT国际申请的申请数据 PCT/EP2020/063882 2020.05.19 (87)PCT国际申请的公布数据 WO2020/239516 EN 2020.12.03 (71)申请人 ASML控股股份有限公司地址荷兰维德霍温 (72)发明人 D ·C ·卡皮里　权利要求书2页说明书31页

自参考干涉仪和双重自参考干涉仪装置

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